半導體製造設備用真空泵浦技術
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- 資料識別：
- A98012447
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 周榮源 陳峰志 鄭鴻斌 張郁雯
- 主題與關鍵字：
- 半導體製造 真空泵浦
- 描述：
- 來源期刊:機械月刊
- 卷期:24:6=275 民87.06
- 頁次:頁412-424
- 日期：
- 19980600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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