以化學氣相沈積成長金屬碳化物及金屬氮化物薄膜
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- 資料識別：
- A98011625
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 裘性天(Chiu， Hsin-tien)
- 主題與關鍵字：
- 化學氣相沈積 金屬碳化物 金屬氮化物 單源前驅物 Chemical vapor deposition CVD Metal carbide Metal nitride Single-source precursor
- 描述：
- 來源期刊:化學
- 卷期:56:2 民87.06
- 頁次:頁121-124
- 日期：
- 19980600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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