A Low Temperature Improved Formation of Silicon Dioxide Films in Liquid Phase Deposition
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- 資料識別：
- A97034488
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 黃建榮(Huang， C. J.) 鄧文榮(Deng， Win-rong)
- 主題與關鍵字：
- Liquid phase deposition Deposition rate Silicon dioxide film Formation 液相沉積法 低溫 二氧化矽膜
- 描述：
- 來源期刊:和春學報
- 卷期:4 民86.07
- 頁次:頁19-24
- 日期：
- 19970700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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