半導體工業之靜電污染控制
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- 資料識別：
- A97002936
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林明漢(Lin， M. H.) 胡石政(Hu， S. C.)
- 主題與關鍵字：
- 半導體工業 靜電污染
- 描述：
- 來源期刊:中國冷凍空調雜誌
- 卷期:30 民86.02
- 頁次:頁121-125
- 日期：
- 19970200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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