積體電路製程技術趨勢
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- 資料識別：
- A97028529
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 王念民
- 主題與關鍵字：
- 淺溝式隔離 自行對準金屬矽化物 氧植入隔離 快速加熱製程 旋塗式玻璃 化學機械研磨 Shallow trench isolation Self-aligned silicide Separation by implanted oxygen Rapid thermal processing Spin on glass Chemical mechanical polishing
- 描述：
- 來源期刊:電子技術
- 卷期:140 民86.11
- 頁次:頁144-156
- 日期：
- 19971100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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