電漿化學蒸鍍硬質膜於工具上之技術開發
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- 資料識別：
- A97025733
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林天財(Lin， T. T，) 楊玉森(Yang， Y. S.) 涂瑞庭(Tu， T. T.) 李新中(Li， H. C.) 卓廷彬(Cho， T. P.)
- 主題與關鍵字：
- 電漿化學蒸鍍 碳化鈦 薄膜 PCVD TiN ThinFilm
- 描述：
- 來源期刊:鍛造
- 卷期:6:4 民86.11
- 頁次:頁9-22
- 日期：
- 19971100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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