FTIR量測比較氧化生長法之二氧化矽薄膜矽-氧-矽鍵結均勻性定性分析SiO[feaf]/Si界面層結構
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- 資料識別：
- A97024927
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蔡震寰(Tsai， Jen-hwan) 張毅(Chang， Yih) 陳培中(Cheng， P. C.) 廖志雄(Liao， Chin-hsiung) 王弘宗(Wang， H. T.) 曾昆福(Tseng， Kun-fu)
- 主題與關鍵字：
- 乾氧及濕氧性二氧化矽 傅立葉轉換紅外光譜分析儀 矽-氧-矽鍵結 Wet and dry oxide Fourier transformed infrared spectrometry Si-O-Si bonding
- 描述：
- 來源期刊:中正嶺學報
- 卷期:26:1 民86.07
- 頁次:頁47-58
- 日期：
- 19970700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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