以4x10[fee4] Dose/cm[feb4]矽離子佈植100 nm二氧化矽薄膜經100℃快速退火之光激發螢光研發
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- 資料識別：
- A97024926
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蔡震寰(Tsai， Jen-hwan) 張毅(Chang， Yih) 高進興(Kao， C. H.) 曾昆福(Tseng， Kun-fu) 張廷桓(Chang， Ting-huan) 廖志雄(Liao， Ching-hsiung)
- 主題與關鍵字：
- 矽離子佈植 快速退火 光激發螢光 Silicon implanation Rapid thermal annealing Photoluminescence
- 描述：
- 來源期刊:中正嶺學報
- 卷期:26:1 民86.07
- 頁次:頁35-45
- 日期：
- 19970700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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