SPM在半導體工業之運用與實例
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- 資料識別：
- A97023611
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳恆生 衣冠君
- 主題與關鍵字：
- 半導體工業 掃描式探針顯微儀 Scanning probe microscope SPM
- 描述：
- 來源期刊:量測資訊
- 卷期:57 民86.09
- 頁次:頁27-43
- 日期：
- 19970900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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