半導體廠房製程儀具基礎暨樓板結構振動反應分析模式之建立
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- 資料識別：
- A97022578
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 全湘偉 邱垂鈺
- 主題與關鍵字：
- 半導體廠房 製程儀具 樓板 振動
- 描述：
- 來源期刊:機械月刊
- 卷期:23:9=266 民86.09
- 頁次:頁327-337
- 日期：
- 19970900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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