單一粒界VLSI鋁線之EM現象研究

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資料識別:
A97018957
資料類型:
期刊論文
著作者:
洪朝富(Hong, Chao-fu) 簡恩義(Jean, En-yih) 潘瑞清(Pan, Reuay-ching) 徐加玲(Hsu, Linda Chia-ling) 黃建仁(Huang, Chien-jen)
主題與關鍵字:
平均壽命 粒界 空隙 空洞 VLSI EM MTF Grain boundary Void Vacancy
描述:
來源期刊:技術學刊
卷期:12:3 民86.09
頁次:頁433-438
日期:
19970900
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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