A 3-D Screening Analysis of Large Czochralski Si Crystal Growth Systems
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- 資料識別：
- A97017989
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 楊肇福(Yang， Charles C.)
- 主題與關鍵字：
- Heat flow Fluid flow Swirl Non-linear Thermal stresses FEM Silicon melt Crystal Dislocation Latent heat Rotation Pulling rate 柴可斯基矽晶體成長系統 三維熱流分析
- 描述：
- 來源期刊:華岡工程學報
- 卷期:11 民86.06
- 頁次:頁1-13
- 日期：
- 19970600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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