Design and Fabrication of Microsensors using Standard CMOS IC Process
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- 資料識別：
- A97015210
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 戴慶良(Dai， Ching-liang) 張培仁(Chang， Pei-zen) 王建鎮(Wang， Jiann-jenn)
- 主題與關鍵字：
- CMOS Microsensors Accelerometer Pressure sensor 積體電路 製程技術 微感測器
- 描述：
- 來源期刊:中國機械工程學刊
- 卷期:18:3 民86.06
- 頁次:頁283-291
- 日期：
- 19970600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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