Optimization of Spacer Width and Source-Drain Implant on pMOS Characteristics for Quarter-Micrometer Devices

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資料識別:
A97011714
資料類型:
期刊論文
著作者:
梁瑛心(Liang, Ying-hsin) 崔秉鉞(Tsai, Bing-yue) 王是琦(Wong, Shyh-chyi)
主題與關鍵字:
閘極的空間寬度 汲極邊上淡濃度的佈植 飽和電流 漏電流 基體電流 開啟電壓 Spacer width Source-drain doping Substrate current Off-state leakage current Saturation drain current Threshold voltage
描述:
來源期刊:南開學報
卷期:2 民86.06
頁次:頁151+153-162
日期:
19970600
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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