射頻濺鍍織構氮化鈦薄膜對銅與矽之擴散阻礙性質評估
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- 資料識別：
- A00007388
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 郭政彰(Guo， J. J.) 陳錦山(Chen， G. S.)
- 主題與關鍵字：
- 射頻濺鍍 氮化鈦薄膜 銅 矽 擴散阻礙 積體電路 導線材料 TiN
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:13:1 民89.03
- 頁次:頁4-14
- 日期：
- 20000300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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