高密度感應耦合電漿設備之電漿特性與其蝕刻機制研究
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- 資料識別：
- A00037107
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蘇天佑(Su， W.) 徐享楨(Hsu， D.) 林維倫(Lin， W. L.) 廖芳慶(Liao， F. C.) 劉彥泓(Liu， Y. H.) 武東星(Wuu， D. S.)
- 主題與關鍵字：
- 感應耦合電漿設備 電漿製程 蝕刻 積體電路元件 ICP
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:13:4 民89.11
- 頁次:頁25-31
- 日期：
- 20001100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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