微機電系統的感應耦合電漿設備與製程技術

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資料識別:
A00037106
資料類型:
期刊論文
著作者:
鍾震桂(Chung, C. K.)
主題與關鍵字:
微機電系統 感應耦合電漿 設備 製程 蝕刻 Inductively coupled plasma MEMS ICP
描述:
來源期刊:真空科技
卷期:13:4 民89.11
頁次:頁17-24
日期:
20001100
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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