微機電系統的感應耦合電漿設備與製程技術
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- 資料識別：
- A00037106
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 鍾震桂(Chung， C. K.)
- 主題與關鍵字：
- 微機電系統 感應耦合電漿 設備 製程 蝕刻 Inductively coupled plasma MEMS ICP
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:13:4 民89.11
- 頁次:頁17-24
- 日期：
- 20001100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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