濺鍍沈積氮化鉭(Ta[feaf]N/TaN)薄膜的特性與對銅的擴散阻礙性能探討
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- 資料識別：
- A00037105
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 許振聲(Hsu， C. S.) 黃獻慶(Huang， S. C.) 府玠辰(Fu， C. C.) 莊鑫堅(Chuang， H. C.) 陳錦山(Chen， G. S.)
- 主題與關鍵字：
- 單層Ta[feaf]N 單層TaN 複層Ta[feaf]N/TaN 阻礙層薄膜 銅
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:13:4 民89.11
- 頁次:頁4-16
- 日期：
- 20001100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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