高密度細線化需求下的銅化學蝕刻製程
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- 資料識別：
- A00032164
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 王宗雄
- 主題與關鍵字：
- 化學蝕刻 蝕刻因子 蝕刻液 高密度互連基板 顯影 Chemical etching Etching factor Etching solution High density interconnect HDI Developing
- 描述：
- 來源期刊:工業材料
- 卷期:168 民89.12
- 頁次:頁161-170
- 日期：
- 20001200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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