應用於大面積微波電漿源之輻射共振腔原理探討
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A00031587
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 洪健倫(Hung， C. L.) 張存續(Chang， T. H.) 朱國瑞(Chu， K. R.) 戴涪(Tai， F.) 呂康威(Lu， K. W.)
- 主題與關鍵字：
- 電子磁旋共振微波電漿源 微波共振腔 品質因子 HFSS計算 Microwave resonant cavity Electron cyclotron resonance Plasma Coupling coefficient Quality factor HFSS simulation
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:13:3 民89.09
- 頁次:頁55-61
- 日期：
- 20000900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
