Synthesis of Uniform and Large-Area Polycrystalline Diamond Films Using Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition System
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- 資料識別：
- A00031585
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Huang，Bohr-ran
- 主題與關鍵字：
- MPCVD Uniform large-area polycrystalline diamond films Surface roughness 多晶鑽石膜 微波電漿化學氣相法 表面粗糙度
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:13:3 民89.09
- 頁次:頁38-47
- 日期：
- 20000900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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