Fabricating δ-doped Layers by Ultra-High Vacuum Chemical-Vapor Deposition and Its Applications in FET
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- 資料識別：
- A00031580
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 吳三連(Wu， S. L.) 簡培偉(Chien， P. W.) 張守進(Chang， S. J.)
- 主題與關鍵字：
- 高平面摻雜技術 場效電晶體 元件技術 超高真空化學汽相沈積法
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:13:3 民89.09
- 頁次:頁4-11
- 日期：
- 20000900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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