微機電之晶片接合技術與應用
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- 資料識別：
- A00029867
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張為傑(Chang， Wei-jieh)
- 主題與關鍵字：
- 晶片接合 融合接合 陽極接合 共晶接合 高分子接合 Wafer bonding Fusion bonding Anodic bonding Eutetic bonding Polymer bonding
- 描述：
- 來源期刊:光學工程
- 卷期:72 民89.12
- 頁次:頁39-43
- 日期：
- 20001200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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