微機電製程技術製作間距可調式微型Fabry-Perot干涉儀
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- 資料識別：
- A00029865
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林瑞進(Lin， Ran-jin)
- 主題與關鍵字：
- Fabry-Perot干涉儀 微機電 皺摺膜 Fabry-Perot interferometer MEMS Corrugated diaphragm
- 描述：
- 來源期刊:光學工程
- 卷期:72 民89.12
- 頁次:頁21-29
- 日期：
- 20001200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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