元件化虛擬機器之發展
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- 資料識別：
- A00027577
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 李育棋 黃欽印 王立志
- 主題與關鍵字：
- 半導體設備通訊標準-Ⅱ 一般性設備模型 系統發展 設備控制 SEMI equipment communications standard 2 SECS-Ⅱ Generic equipment model GEM System development Equipment control
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:213 民89.12
- 頁次:頁177-188
- 日期：
- 20001200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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