銅金屬與低介電常數材料與製程
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- 資料識別：
- A00026332
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 楊正杰 張鼎張 鄭晃忠
- 主題與關鍵字：
- 銅金屬 低介電常數 多層導體連線 化學機械研磨 旋塗式玻璃 Copper metal Low K dielectric constant Multilevel interconnects Chemical mechanical polishing Spin-on glass SOG
- 描述：
- 來源期刊:工業材料
- 卷期:167 民89.11
- 頁次:頁121-126
- 日期：
- 20001100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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