以傅氏紅外線光譜儀對矽基元件Si-SiO[feaf]介面矽氧層範圍之辨識
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A00021718
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蔡震寰(Tsai， J. H.) 余安錠(Yu， A. T.)
- 主題與關鍵字：
- 橢圓分析儀 傅氏紅外線光譜儀 10%氫氟酸水溶液 Si-SiO[feaf]介面 矽氧矽鍵結反對稱伸張運動 Ellipsometer FTIR HF(10%) solution Si-SiO[feaf]interface Si-O-Si antisymmetric stretching mode
- 描述：
- 來源期刊:筧橋學報
- 卷期:7 民89.09
- 頁次:頁163-180
- 日期：
- 20000900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
