快速升溫退火砷離子佈植砷化鎵近能隙能帶吸收光譜之研究
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- 資料識別：
- A00020683
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林恭如(Lin， G. R.) 許晉嘉(Hsu， C. C.) 潘犀靈(Pan， C. L.)
- 主題與關鍵字：
- 快速升溫退火 砷離子佈植砷化鎵 近能隙能帶 吸收光譜 傅立葉轉換紅外線光譜儀 RTA FT-IR GaAs:As狇
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:13:2 民89.07
- 頁次:頁41-46
- 日期：
- 20000700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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