超薄介電層非接觸性特性分析
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- 資料識別：
- A00001573
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Roy，P. K. Chacon，C. Ma，Y. KizilyalliI.C. Horner，G.S. Verkuil，R.L. Miller，T.G.
- 主題與關鍵字：
- 超薄介電層 非接觸性
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:6:3=56 民89.03
- 頁次:頁142-146
- 日期：
- 20000300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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