使用模型辨別及人工智慧技術實現Lam490反應室壓力系統之故障診斷
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- 資料識別：
- A00018404
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 黎煥欣 鄭木火 張少貢
- 主題與關鍵字：
- 電漿蝕刻機 模型辨別 人工智慧 Plasma etcher System identification Artificial intelligence
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:210 民89.09
- 頁次:頁222-235
- 日期：
- 20000900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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