淺談潔淨機械設計要點
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A00018401
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 黃俊凱
- 主題與關鍵字：
- 潔淨機械設計 潔淨材料 潔淨元件 晶圓載入設備 Cleanliness machine design Purified material Purified component Wafer loading equipment
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:210 民89.09
- 頁次:頁182-190
- 日期：
- 20000900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
