準分子雷射加工聚亞醯胺製作擺動式微致動器
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- 資料識別：
- A00018386
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林育生 潘正堂 陳世洲 楊詔中 沈聖智
- 主題與關鍵字：
- 微機電系統 微致動器 準分子雷射 剝蝕 MEMS Microactuator Excimer laser Abration
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:209 民89.08
- 頁次:頁141-147
- 日期：
- 20000800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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