Ohmic Contacts and Reactive Ion Beam Etching for P-Type GaN
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- 資料識別：
- A00017650
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 莊賦祥(Juang， Fuh-shyang) 張守進(Chang， Shoou-jinn) 蘇炎坤(Su， Yan-kuin) 陳建助(Cheng， Chien-chu) 許進恭(Cheu， Jin-kon)
- 主題與關鍵字：
- 歐姆接觸 活性離子蝕刻 氮化鎵 歐傑光譜 原子力顯微鏡 Ohmic contacts Auger spectroscopy Gallium nitride Reactive ion beam etching Atomic force microscopy
- 描述：
- 來源期刊:Journal of the Chinese Institute of Electrical Engineering
- 卷期:7:3 民89.08
- 頁次:頁203-210
- 日期：
- 20000800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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