微系統LIGA製程之精密電鑄技術
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- 資料識別：
- A00015270
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 楊啟榮 強玲英 黃奇聲
- 主題與關鍵字：
- 微系統 電鑄 LIGA Micro-electro-mechanical system MEMS
- 描述：
- 來源期刊:科儀新知
- 卷期:21:6=116 民89.06
- 頁次:頁15-27
- 日期：
- 20000600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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