半導體廠維修作業勞工有害氣體溢散調查
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- 資料識別：
- A00013305
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張振平(Chang， Cheng-ping) 宋隆佑(Song， Long-yu) 朱振群(Chu， Cheng-qun) 林宜長(Lin， Yi-chang)
- 主題與關鍵字：
- 半導體工業 霍氏紅外光譜偵測儀 金屬蝕刻 預防保養 Semiconductor industry FTIR Metal etching Preventive maintenance
- 描述：
- 來源期刊:勞工安全衛生研究季刊
- 卷期:8:2 民89.06
- 頁次:頁205-216
- 日期：
- 20000600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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