鐵電氧化物材料的電漿蝕刻系統設計
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- 資料識別：
- A00010211
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Werbaneth，Paul F.
- 主題與關鍵字：
- 鐵電氧化物 電漿蝕刻系統 半導體元件
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:6:4=57 民89.04
- 頁次:頁144-149
- 貢獻者：
- 李鴻志 葉瑞鴻
- 日期：
- 20000400
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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