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- 資料識別：
- A00000728
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張凱傑(Chang， Kai-jeih)
- 主題與關鍵字：
- 磁控濺射 氣流通量 質量流量控制系統 磁性流體軸承 基板 Magnetron sputtering Throughput Mass flow controller Ferrofluid bearing Substrate
- 描述：
- 來源期刊:金屬工業
- 卷期:34:2 民89.03-04
- 頁次:頁45-50
- 日期：
- 20000300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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