以臭氧超純水清洗晶圓表面之簡介及應用
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- 資料識別：
- A01007998
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 鄧宗禹 蔡明蒔
- 主題與關鍵字：
- 臭氧超純水清洗 晶圓表面污染物 積體電路
- 描述：
- 來源期刊:國科會國家毫微米元件實驗室通訊
- 卷期:8:2 民90.05
- 頁次:頁36-46
- 日期：
- 20010500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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