掃描探針微影術在奈米科技上之應用
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- 資料識別：
- A01007844
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 果尚志
- 主題與關鍵字：
- 掃描探針微影術 奈米科技 氮化矽薄膜 化學氣相沈積 Scanning-probe lithography SPL Nano technology Si[feb0]N[feb2]Mask CVD
- 描述：
- 來源期刊:工業材料
- 卷期:173 民90.05
- 頁次:頁111-125
- 日期：
- 20010500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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