Micro Electrothermal Actuators and Their Applications on Micro-Optics
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- 資料識別：
- A01005189
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 李國賓(Lee， Gwo-bin) 謝宸碩(Shey， Chen-sho) 林彥亨(Lin， Yen-heng) 劉恒惠(Liu， Heng-hui) 陳榮盛(Chen， Rong-sheng)
- 主題與關鍵字：
- MEMS Micro actuators Electrothermal actuators Bent-beam Micro mirrors 微機電系統 微型致動器 電熱式致動器 微型鏡片
- 描述：
- 來源期刊:國立臺灣大學工程學刊
- 卷期:81 民90.02
- 頁次:頁1-10
- 日期：
- 20010200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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