氨氣電漿氮化處理對低介電常數HSQ薄膜/銅導線結構之電特性影響
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- 資料識別：
- A01005002
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 劉柏村 張鼎張 施敏
- 主題與關鍵字：
- 氨氣電漿 氮化處理 低介電常數 HSQ薄膜
- 描述：
- 來源期刊:國科會國家毫微米元件實驗室通訊
- 卷期:8:1 民90.02
- 頁次:頁7-12
- 日期：
- 20010200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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