FLARE聚芳香烴醚膜之化學機械研磨特性評估
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A01005001
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蔡明蒔
- 主題與關鍵字：
- FLARE聚芳香烴醚膜 化學機械研磨 低介電常數材料 積體電路 元件
- 描述：
- 來源期刊:國科會國家毫微米元件實驗室通訊
- 卷期:8:1 民90.02
- 頁次:頁1-6
- 日期：
- 20010200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
