灰階非球面折射式微透鏡陣列之UV-LIGA製程技術

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資料識別:
A01043128
資料類型:
期刊論文
著作者:
王述宜 王國禎 秦志賢
主題與關鍵字:
灰階 非球面折射式微透鏡陣列 微光機電系統 UV-LIGA MOEMS
描述:
來源期刊:微系統科技協會季刊
卷期:6 民90.12
頁次:頁55-66
日期:
20011200
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

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管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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