N[feaf]O電漿表面處理對HSQ介電層的材料特性改善與阻隔銅的擴散行為機制之研究與建立
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- 資料識別：
- A01038855
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳俊元
- 主題與關鍵字：
- N[feaf]O電漿表面處理 HSQ介電層材料 阻隔銅 擴散
- 描述：
- 來源期刊:中州學報
- 卷期:14 民90.06
- 頁次:頁97-102
- 日期：
- 20010600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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