Preparation and Lithographic Performance of Novel Copolymers Having Acid Labile Pendant Alicyclic Ether Moieties
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- 資料識別：
- A01037729
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Liu，Jui-hsiang Shih，Jen-chieh
- 主題與關鍵字：
- Photoacid generator Chemical amplified reaction Photoresist Alicyclic ether Acid labile groups Acid catalized dehydration
- 描述：
- 來源期刊:Journal of Polymer Research
- 卷期:8:2 民90.06
- 頁次:頁143-150
- 日期：
- 20010600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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