A Review of MEMS Fabrication Technologies
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- 資料識別：
- A01037545
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Tang，William C.
- 主題與關鍵字：
- MEMS LIGA MEMS製造科技
- 描述：
- 來源期刊:中國機械工程學刊
- 卷期:22:6 民90.12
- 頁次:頁459-475
- 日期：
- 20011200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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