微機電元件製作技術--提高陽極接合良率的探討
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- 資料識別：
- A01031111
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 龔詩欽 賴怡君
- 主題與關鍵字：
- 微機電元件 晶片接合
- 描述：
- 來源期刊:機電整合
- 卷期:38 民90.10
- 頁次:頁118-123
- 日期：
- 20011000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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