乾式蝕刻於矽微加工及微機電方面之應用
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- 資料識別：
- A01030503
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 楊忠諺 葉源益
- 主題與關鍵字：
- 乾式蝕刻 微機電系統 半導體 MEMS
- 描述：
- 來源期刊:國科會國家毫微米元件實驗室通訊
- 卷期:8:4 民90.11
- 頁次:頁11-17
- 日期：
- 20011100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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