微影光阻技術：157奈米波長光學微影用正型阻劑之發展
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- 資料識別：
- A01029177
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林賢雲 鄭淳元 陳建帆 龍文安
- 主題與關鍵字：
- 光學微影用正型阻劑 157奈米阻劑
- 描述：
- 來源期刊:化工技術
- 卷期:9:10=103 民90.10
- 頁次:頁136-153
- 日期：
- 20011000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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