半導體設備產業發展的國際經驗--半導體設備產業研究系列5之2
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- 資料識別：
- A01028921
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 劉仁傑
- 主題與關鍵字：
- 半導體製造 半導體產業 半導體設備產業 精密機械產業 Semiconductor manufacturing Semiconductor industry Semiconductor equipment industry Precision machinery industry
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:223 民90.10
- 頁次:頁218-226
- 日期：
- 20011000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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